等離子清洗機也叫等離子清潔機,或者等離子表麵處理儀(yi) ,是一種全新的高科技技術,利用等離子體(ti) 來達到常規清洗方法無法達到的效果。等離子體(ti) 是物質的一種狀態,也叫做物質的第四態,並不屬於(yu) 常見的固液氣三態。對氣體(ti) 施加足夠的能量使之離化便成為(wei) 等離子狀態。等離子體(ti) 的"活性"組分包括:離子、電子、原子、活性基團、激發態的核素(亞(ya) 穩態)、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表麵,從(cong) 而實現清潔、塗覆等目的。
根據用途的不同,可選用多種構造的等離子清洗設備,並可通過選用不用種類的氣體(ti) ,調整裝置的基本結構大致是相同的,一般裝置可由真空室、真空泵、高頻電源、點擊、氣體(ti) 導入係統、工作傳(chuan) 送係統和控製係統等部分組成。通常使用的真空泵是旋轉油泵,高頻電源通常用13.56MHz的無線電波,等離子清洗機的運行過程如下:
(1)被清洗的工件送入真空室並加以固定,啟動運行裝置,開始排氣,使真空室的真空程度達到10Pa左右的標準真空度。一般排氣時間大約需要2min。
(2)向真空室引入等離子清洗用的氣體(ti) ,並使其壓力保持在100pa。根據清洗材質的不用,可分別選用氧氣、氫氣、或氮氣等氣體(ti) 。
(3)在真空室內(nei) 的電極與(yu) 接地裝置之間施加高頻電壓,使氣體(ti) 被擊穿,並通過輝光放電而發生離子化和產(chan) 生等離子體(ti) 。讓在真空室產(chan) 生的等離子體(ti) *籠罩在被處理工件,開始清洗作業(ye) 。一般清洗處理持續幾十秒到幾分鍾。
(4)清洗完畢後切斷高頻電壓,並將氣體(ti) 及汽化的汙垢排出,同時向真空室內(nei) 鼓入氣體(ti) ,並使氣壓升至一個(ge) 大氣壓。